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J-GLOBAL ID:201302278741143227   整理番号:13A1239036

Raman分光計によるSiCファイバ上のCVD炭素被覆の微細構造の研究

Investigation of Microstructure of CVD Carbon Coating on SiC Fiber by Raman Spectrometer
著者 (7件):
資料名:
巻: 32  号: 12  ページ: 3253-3257  発行年: 2012年 
JST資料番号: C2093A  ISSN: 1000-0593  CODEN: GYGFED  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 中国 (CHN)  言語: 中国語 (ZH)
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反応物としてC_2H_2+H_2とC_2H_2+C_3H_8+Arを用いたSiCファイバ表面上の化学蒸着(CVD)により調整した炭素被覆の微細構造と破壊形態をRaman分光計と走査電子顕微鏡法(SEM)により調べた。その結果,炭素被覆のスペクトルが,それぞれ,1350,14001500および1600cm(-1)付近に特性D,D”およびGピークをもち,少量の非晶質炭素をもつ不規則グラファイト構造をもつことを示した。微結晶のサイズは温度の上昇とともに増加し,炭素被覆の秩序度と均一性が同時に改善された。C_2H_2+H_2により被覆した破断表面は平坦で高密度であり,一方,C_2H_2+C_3H_8+Arにより調整したそれは曲げ層状構造をもち,相対的に低秩序度と非均一性を示した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST
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分類 (3件):
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光導波路,光ファイバ,繊維光学  ,  半導体薄膜  ,  赤外・遠赤外領域の分光法と分光計 

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