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J-GLOBAL ID:201302278805563870   整理番号:13A1389754

マイクロ集積化サブミリ波ピクセルの実証

Demonstration of a Micro-Integrated Sub-Millimeter-Wave Pixel
著者 (5件):
資料名:
巻: 61  号: 8,Pt.1  ページ: 2949-2955  発行年: 2013年08月 
JST資料番号: C0229A  ISSN: 0018-9480  CODEN: IETMAB  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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ホーンアンテナと導波路,InP HEMTによる低雑音増幅器,及びnINダイオード検出器から成る340GHz受信ピクセルを,マイクロマシン加工により作製した。MMICをマイクロマシン加工したシリコン導波路内にはんだボール工程で取り付け,マイクロマシン加工したホーンアンテナで導波路にふたをした。従来のパッケージ340GHz受信ピクセルのサイズは10x10x3cm3であったのに対し,ここで報告する微小集積化ピクセルは0.5x0.5x0.14cm3で,2500倍を超える容積低減率を達成した。雑音温度測定値は5400Kで,この値は積分時間30msで帯域幅20GHzでは放射計感度にして0.21Kに相当する。
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分類 (1件):
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赤外・遠赤外領域の測光と光検出器 
タイトルに関連する用語 (4件):
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