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J-GLOBAL ID：201302278912335588   整理番号：13A0364920

位相シフトシアリング干渉計に用いるDCサーボモータ駆動位相シフト装置

著者 (2件)： 花山良平 (光産業創成大) ,  石井勝弘 (光産業創成大)
資料名： 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会講演論文集(CD-ROM)  (日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会予稿集(CD-ROM))
巻： 2012  ページ： ROMBUNNO.1P1-K05  発行年： 2012年05月27日 
JST資料番号： L0318B  ISSN： 2424-3124  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： マイクロレンズや非球面レンズの形状測定を行うために開発している位相シフトシアリング干渉計に用いる位相シフト装置について述べる。平行平板型シアリング干渉計では透明平行平板を用いて干渉縞を生じさせる。この平行平板をDCサーボモータを用いて傾き角をわずかに変化させることで位相シフトを導入することができる。この方法ではピエゾ素子等を用いる一般的な位相シフト機構より安価に構成可能である。本報では開発した干渉計を用いて非球面レンズの形状計測を行った例についても述べる。(著者抄録)

シソーラス用語： 干渉計 ,  干渉測定 ,  *シヤリング干渉計 ,  電動機駆動 ,  マイクロレンズ ,  非球面レンズ ,  *形状測定 ,  傾斜角
準シソーラス用語： DCモーター駆動 ,  *位相シフト干渉計 ,  位相シフト干渉測定

分類 (1件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G)

タイトルに関連する用語 (4件)： 位相シフト ,  シアリング干渉計 ,  DC ,  サーボモータ駆動