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J-GLOBAL ID：201302279151930190   整理番号：13A0562902

粒子群最適化に基づく広帯域EUV多層ビームスプリッタのロバスト設計

Robust design of broadband EUV multilayer beam splitters based on particle swarm optimization

著者 (3件)： JIANG Hui (Shanghai Synchrotron Radiation Facility, Shanghai Inst. of Applied Physics, Chinese Acad. of Sciences, Zhangheng ...) ,  JIANG Hui (King’s Coll. London, Dep. of Physics, Strand, London WC2R 2LS, GBR) ,  MICHETTE Alan G. (King’s Coll. London, Dep. of Physics, Strand, London WC2R 2LS, GBR)
資料名： Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section A. Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment  (Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section A. Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment)
巻： 703  ページ： 22-25  発行年： 2013年03月01日 
JST資料番号： D0208B  ISSN： 0168-9002  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (6件)： 粒子群最適化 ,  広帯域 ,  EUV ,  多層 ,  ビームスプリッタ ,  ロバスト設計