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J-GLOBAL ID：201302279471392889   整理番号：13A1420698

酸化インジウムスズの感光性シラン表面改質の走査型Kelvinプローブ研究

Scanning Kelvin probe study of photolabile silane surface modification of indium tin oxide

著者 (4件)： CHAK Elaine Yee Ling (Univ. Toronto, Ontario, CAN) ,  PAWLOWSKA Natalia Maria (Univ. Toronto, Ontario, CAN) ,  BLASZYKOWSKI Christophe (Univ. Toronto, Ontario, CAN) ,  THOMPSON Michael (Univ. Toronto, Ontario, CAN)
資料名： Surface and Interface Analysis  (Surface and Interface Analysis)
巻： 45  号： 9  ページ： 1347-1352  発行年： 2013年09月 
JST資料番号： E0709A  ISSN： 0142-2421  CODEN： SIANDQ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 走査型Kelvinナノプローブ(SKN)を用いて,仕事関数の関連する変化に関して光パターニングプロセスを特性評価した。この研究の重大な新しい側面は,表面-活性剤の非常に改良された化学的合成およびガラスから酸化インジウムスズ(ITO)への表面化学の好結果な転移であり,ガラス基体でおこなわれた優れた研究に基づき,光パターン化可能な分子吸着層をもつITOの表面改質をおこなった。均質な電子特性をもつ比較的大きな面積を光高感度TUA-パーフルオロo-ニトロベンジル(FNB)表面-改質分子で被覆し,穏やかな条件下で容易に光パターン化することができた。フォトマスクを用いて,光反応性シラン吸着層の領域を選択的パターン化することができ,表面ポテンシャルの対応する変化を確認することができた。しかしながら,初歩的なフォトマスクが結果として低空間分解能を生じ,新たな研究側面である。また臨床診断のためのカルボキシル-末端化膜の二官能化によるSKN-ベースバイオセンシングプラットホームの開発にも焦点を合わせて研究している。

シソーラス用語： *酸化インジウムスズ ,  *シラン ,  *表面改質 ,  *プローブ ,  マイクロプローブ ,  仕事関数 ,  吸着 ,  フォトマスク ,  パターン形成 ,  リソグラフィー
準シソーラス用語： *Kelvinプローブ ,  ナノプローブ ,  紫外線リソグラフィー ,  分子吸着

分類 (2件)： 有機化合物の薄膜  (BK14070L) ,  有機化合物のルミネセンス  (BM08094A)

物質索引 (1件)： 4-[[11-(トリクロロシリル)ウンデカノイル]オキシメチル]-3-ニトロ安息香酸2,2,3,3,4,4,4-ヘプタフルオロブチル

タイトルに関連する用語 (7件)： 酸化インジウムスズ ,  感光性 ,  シラン ,  表面改質 ,  走査型 ,  Kelvinプローブ ,  研究