電気的及び光学的カルシウム湿気バリア特性評価への横方向に不均質な腐食の影響

KLUMBIES H.; MUELLER-MESKAMP L.; MOENCH T.; SCHUBERT S.; LEO K.

文献

J-GLOBAL ID：201302279475504622 整理番号：13A0559704

電気的及び光学的カルシウム湿気バリア特性評価への横方向に不均質な腐食の影響

The influence of laterally inhomogeneous corrosion on electrical and optical calcium moisture barrier characterization

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資料名：
巻： 84 号： 2 ページ： 024103-024103-8 発行年： 2013年02月
JST資料番号： D0517A ISSN： 0034-6748 CODEN： RSINAK 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

カルシウム薄膜の水との反応は,光学的または電気的にモニタし,有機電子素子のカプセル封じのための超高バリア箔を評価するために広く使われる。我々は普通の光学的及び電気的方法を研究し,それらを,その場原子間力顕微鏡トポグラフィスキャンと比較した。全三方法を,それぞれ60及び1000nmの厚さのカルシウム層のすぐ隣の,水分布についてのガス容積を含む典型的試験構想において,同じ試料において並列に適用した。この様な測定データの解釈のための普通の仮定は,頂上から底までの層の横方向に均質なカルシウム消費である。対照をなして我々は,カルシウムの横方向に不均質な腐食のかなりの比率を,ミクロスケールで両方の厚さについて観測した。いくらかの範囲は全層を通して強くまたは完全に腐食されたが,一方他は腐食がより少ないか無いことを示した。そのうえ,それらの腐食箇所は横方向に成長した。横方向の不均質なカルシウム腐食の結果として,電気的なカルシウム測定法は,残ったカルシウムの量を過小評価する;我々の結果によれば,これは水蒸気透過率(WVTR)に影響しない。Lambert-Beer則によって評価した光学データもまた,残ったカルシウムの量を過小評価し,またWVTRも過小評価する。もしデータを,透過と残ったカルシウムの量の間の線形な関係を用いて評価すれば,両方の値はより精密になる。この研究の範囲は,カルシウム腐食における横方向不均質性の存在に注意を呼ぶことと,そのカルシウム浸透測定への影響である。より多くの研究が,一般に電気的及び光学的方法へのこの不均質性の効果を,定量化するために必要であろう一方,検討は道筋に光を注ぎ,カルシウム試験データは,横方向の不均質なカルシウム腐食によって影響される。我々の観測は,カルシウム試験結果の注意深い解釈について必要性を強調するが,またその精密な超高バリア測定のための能力の実証もする。(翻訳著者抄録)

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固体デバイス計測・試験・信頼性

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