文献

J-GLOBAL ID：201302280959699116   整理番号：13A1721096

ボロンドープP型透明導電膜の透過率とシート抵抗の最適化

著者 (7件)： 蔭浦泰資 (早稲田大 理工学術院) ,  古閑三靖 (早稲田大 理工学術院) ,  ISHAK Khairul Khalil (早稲田大 理工学術院) ,  新谷幸弘 (早稲田大 理工学術院) ,  長谷川雅考 (産業技術総合研) ,  平岩篤 (早稲田大 理工学術院) ,  川原田洋 (早稲田大 理工学術院)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 74th  ページ： ROMBUNNO.18A-D1-7  発行年： 2013年08月31日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *透明導電膜 ,  半導体薄膜 ,  透過率 ,  *シート抵抗 ,  最適化 ,  ホウ素 ,  *ドーピング ,  P型半導体 ,  濃度依存性 ,  アルカン ,  改変

分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

物質索引 (1件)： メタン

タイトルに関連する用語 (4件)： 透明導電膜 ,  透過率 ,  シート抵抗 ,  最適化