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J-GLOBAL ID：201302281621400316   整理番号：13A1918525

FDTD法を用いた近接場フォトサーマル効果のナノスケール温度分布解析

FDTD Analysis of Nanoscale Temperature Distribution Induced by Near-Field Photothermal Effect

著者 (2件)： 福山祥平 (慶応大 大学院理工学研究科) ,  田口良広 (慶応大 理工)
資料名： 日本機械学会論文集 B編(Web)  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series B (Web))
巻： 79  号： 806  ページ： 2254-2263 (WEB ONLY)  発行年： 2013年 
JST資料番号： U0183A  ISSN： 1884-8346  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 自己組織化単分子膜(Self-Assembled Monolayer,SAM)をナノスケールでパターニングすることで,新しいナノデバイスの創出が可能となる。本研究では,近接場光を用いた回折限界を超えたナノスケールでの光照射により,局所的な近接場フォトサーマル効果を誘起し,SAMの非接触・高分解能・クリーンなナノパターニング技術の開発を行っている。本稿では,SAMのナノスケールパターニングをターゲットとした本手法の数値解析を通じてその実現性を検証するとともに,脱離温度である最高230°Cのナノスケール局所加熱を達成する近接場ファイバプローブモデルや試料の考察を行ったので報告する。(著者抄録)

シソーラス用語： *有限差分時間領域法 ,  近接場 ,  ナノ構造 ,  *温度分布 ,  電磁場解析 ,  熱伝導 ,  数値解析 ,  シミュレーション ,  光 ,  技術 ,  *パターン形成 ,  光脱離 ,  熱脱着

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： FDTD法 ,  近接場 ,  フォト ,  ナノスケール ,  温度分布 ,  解析