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J-GLOBAL ID：201302281684492997   整理番号：13A1386535

ペルフルオロポリエーテルをベースとするソフトリソグラフィによる重合性およびシリカセラミック多孔性ミクロ構造の作製

Fabrication of polymeric and silica ceramic porous microstructures by perfluoropolyether based soft lithography

著者 (6件)： XIAO ZuoYi (Dalian Polytechnic Univ., Dalian, CHN) ,  AN Qing-Da (Dalian Polytechnic Univ., Dalian, CHN) ,  ZHAI Shang-Ru (Dalian Polytechnic Univ., Dalian, CHN) ,  WANG Anjie (Dalian Univ. Technol., Dalian, CHN) ,  ZHAO Yun (Dalian Univ. Technol., Dalian, CHN) ,  KIM Dong-Pyo (Pohang Univ. Sci. & Technol., Pohang, KOR)
資料名： Journal of Materials Chemistry C. Materials for Optical, Magnetic and Electronic Devices  (Journal of Materials Chemistry C. Materials for Optical, Magnetic and Electronic Devices)
巻： 1  号： 15  ページ： 2750-2754  発行年： 2013年04月21日 
JST資料番号： W2383A  ISSN： 2050-7526  CODEN： JMCCCX  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： バインダーとして液体形状のUV硬化ペルフルオロポリエーテルを用いて,PDMS金型の溝にポリスチレン(PS)やSiO₂スフェアをパッキングし,基板上にペルフルオロポリエーテルをしみこませた複合体パターンを移し,犠牲となる材料を化学的あるいは熱的に除去して3Dの秩序ある多孔性ミクロパターンを作製した。硬化したペルフルオロエーテルの固有の低い接着性質のためPDMS金型からミクロ構造の放出が容易で,表面処理は必要でない。種々の形のPDMS金型を使うと,単層や二重層の多孔性ミクロパターンの線,格子および円形が作製できる。

シソーラス用語： *フッ素化重合体 ,  *ポリエーテル ,  *リソグラフィー ,  多孔性 ,  微細構造 ,  光架橋 ,  *パターン形成 ,  高分子有機-無機ハイブリッド ,  ポリジメチルシロキサン ,  *金型 ,  円形 ,  格子 ,  *ポリスチレン ,  *二酸化ケイ素
準シソーラス用語： *シリカ ,  ペルフルオロポリエーテル ,  ソフトリソグラフィー ,  UV硬化 ,  PDMS【重合体】

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  高分子固体の構造と形態学  (CG02022M)

タイトルに関連する用語 (6件)： ペルフルオロポリエーテル ,  ソフトリソグラフィ ,  重合性 ,  多孔性 ,  ミクロ構造 ,  作製