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J-GLOBAL ID：201302282137386917   整理番号：13A0152755

マイクロ膜点火器を用いるMEMS固体推薬スラスタ

MEMS solid propellant thruster array with micro membrane igniter

著者 (2件)： LEE Jongkwang (Dep. of Mechanical Engineering, Hanbat National Univ., 125 Dongseo-daero, Yuseong-gu, Daegeon 305-719, KOR) ,  KIM Taegyu (Dep. of Aerospace Engineering, Coll. of Engineering, Chosun Univ., 309 Pilmun-daero, Dong-gu, Gwangju 501-759, KOR)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 190  ページ： 52-60  発行年： 2013年02月01日 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： MEMS固体推薬スラスタのための改良された膜を用いるマイクロ点火器を提案する。誘電SiN_x膜を用いる既存の点火器は低電力ではあるが,推薬充填過程の間の衝撃に耐えられない。点火器のための材料としてガラスウエハを選択した。ガラス膜は感光性ガラスの異方性ウェットエッチングによって製作した。白金を点火コイルとして使用した。30~40μm厚のガラス膜は推薬充填過程中の偶発的な衝撃に耐えるのに十分な強度を示した。さらに,ガラス膜を用いるマイクロ点火器は,適切な電力消費で固体推薬を点火することができた。製作したマイクロ点火器の熱的,電気的,および機械的特性を測定した。提案したマイクロ点火器は,与えられた電力で推薬点火のための十分な熱を供給した。ガラス膜の破壊圧力は従来の点火器よりも3倍高かった。固体推薬スチフニン酸鉛は付加的な工程なしにマイクロ点火器へ充填された。完全に組み立てたMEMSスラスタを用いる点火試験が成功裏に行われた。このように,マイクロ固体推薬スラスタ(MSPT)アレイに組み込んだ時,良好に働く点火器のより簡単で,頑丈,低コストの製作プロセスが可能なことが立証された。Copyright 2013 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *点火装置 ,  *ロケットエンジン ,  固体推薬 ,  *MEMS ,  ガラス ,  エッチング ,  点火コイル ,  白金 ,  *人工衛星 ,  芳香族ニトロ化合物 ,  多価フェノール ,  ウェットエッチング
準シソーラス用語： *ナノ衛星 ,  *マイクロスラスタ ,  マイクロ衛星 ,  *マイクロ点火器 ,  異方性エッチング ,  *点火器

分類 (2件)： 宇宙飛行体  (QK08000Y) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

物質索引 (1件)： スチフニン酸

タイトルに関連する用語 (4件)： 点火器 ,  MEMS ,  固体推薬 ,  スラスタ