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J-GLOBAL ID：201302282481803276   整理番号：13A0229903

単色X線源を使った迅速なX線反射率測定

Quick X-ray refiectivity measurements using a monochromatic X-ray source

著者 (4件)： VOEGELI Wolfgang (KEF) ,  MATSUSHITA Tadashi (KEF) ,  ARAKAWA Etsuo (Tokyo Gakugei Univ.) ,  YANO Yohko F. (Kinki Univ.)
資料名： 日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集  (日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム)
巻： 26th  ページ： 57  発行年： 2013年01月12日 
JST資料番号： L1310A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： X線反射 ,  *反射率 ,  シンクロトロン放射 ,  X線源 ,  ウエハ【IC】 ,  ニッケル ,  金属薄膜 ,  計測
準シソーラス用語： シリコンウエハ ,  *X線反射率 ,  X線反射率測定

分類 (1件)： X線回折法  (BK01020I)

タイトルに関連する用語 (2件)： 単色X線 ,  X線反射率測定