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J-GLOBAL ID：201302282785328710   整理番号：13A1274644

走査透過電子顕微鏡による原子スケールでの化学マッピングと定量化

Chemical Mapping and Quantification at the Atomic Scale by Scanning Transmission Electron Microscopy

著者 (2件)： CHU Ming-Wen (National Taiwan Univ., Taipei, TWN) ,  CHEN Cheng Hsuan (National Taiwan Univ., Taipei, TWN)
資料名： ACS Nano  (ACS Nano)
巻： 7  号： 6  ページ： 4700-4707  発行年： 2013年06月 
JST資料番号： W2326A  ISSN： 1936-0851  CODEN： ANCAC3  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： STEM(走査透過電子顕微鏡)-EDX(エネルギー分散X線分光分析),STEM-EELS(電子エネルギー損失分光法)による原子スケールの精度での化学マッピングと化学的定量化の最近の進歩と将来展望について説明した。収差補正された電子顕微鏡を使用したSTEM-EDXによって,InGaAs(厚さ,29nm;プローブサイズ,1Å)において化学マッピングと観察されたダンベル型構造の直接的対応が確認された。STEM-EELSによる酸化物NSMO/STO(Nd_0.35Sr_0.65MnO₃/SrTiO₃)ヘテロ接合の化学マッピングでも原子スケールの分解能が実証された。今後の開発課題として,(1)Cs補正STEMによる重元素の電子的特性化,(2)低加速電圧STEMによる単層CNT,グラフェンなどの軽元素材料の観察,(3)meVレベルまでのエネルギー分解能,(4)走査vortex電子ビームと走査直線偏光ビームの利用,(5)酸素EELS微細構造の正確な解釈を挙げた。

シソーラス用語： *透過型走査電子顕微鏡 ,  エネルギー分散X線分光分析 ,  電子エネルギー損失分光法 ,  *写像 ,  ヘテロ接合 ,  *定量分析 ,  *長さ ,  チタン酸ストロンチウム ,  マンガン酸塩 ,  ネオジム化合物 ,  ヒ化ガリウムインジウム
準シソーラス用語： ひ化インジウムガリウム ,  *原子スケール

分類 (2件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B) ,  塩基,金属酸化物  (CD01030Z)

タイトルに関連する用語 (5件)： 走査透過電子顕微鏡 ,  原子スケール ,  化学 ,  マッピング ,  定量化