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J-GLOBAL ID:201302282807038117   整理番号:13A1383210

分子動力学シミュレーションによる単結晶銅のナノメートル切削の影響分析

Influences Analysis of Nanometric Cutting Single-Crystal Copper via Molecular Dynamics Simulation
著者 (4件):
資料名:
巻: 10  号: 10  ページ: 2462-2472  発行年: 2013年10月 
JST資料番号: W2377A  ISSN: 1546-1955  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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ナノメートル切削は光学部品およびマイクロエレクトロメカニカルシステムなどの分野における超精密技法であり,分子動力学(MD)シミュレーションによる検討も多いが,従来のMDシミュレーションでは温度の影響は考慮されていなかった。本研究では中心対称パラメータおよび動径分布関数を用いてMDシミュレーションにより銅単結晶とダイヤモンドカッターとの間のナノメートル切削における物質除去の原子挙動,切削力,転位の発生および伝播を検討した。50m/s~1000m/sの範囲の切削速度についてシミュレーションを行い,切削速度が塑性波を超えたときの変形機構を検討した。近似エントロピーを導入してさまざまな開始温度のナノメートル切削の複雑さを記述した。
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分類 (3件):
分類
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固-気界面一般  ,  無機化合物一般及び元素  ,  切削一般 
タイトルに関連する用語 (5件):
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