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J-GLOBAL ID：201302282871244987   整理番号：13A1033021

垂直整列窒化炭素ナノコーンアレイの成長に及ぼす実験条件の効果

Effects of experimental conditions on the growth of vertically aligned carbon nitride nanocone arrays

著者 (9件)： FU X.n. ,  CHEN L. ,  LIU X.j. ,  LAI J.s. ,  SUN J. ,  YING Z.f. ,  WU J.d. ,  LU H.l. ,  XU N.
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 529  ページ： 71-75  発行年： 2013年02月01日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 垂直整列窒化炭素(CNNC)アレイを,異常グロー放電プラズマ化学蒸着によりNi被覆(100)シリコンウエハ上に作製した。アレイの成長を制御するために,陽極チップと基板表面の距離を調整した。成長時の薄膜のキャラクタリゼーション及び成長環境の分析に基づいて,成長に及ぼす実験条件の効果を研究し,その成長機構を議論した。チップ-基板距離は,CNNC成長に大きな影響を与えた。適切な実験条件下において,β-C₃N₄微細構造及びわずか3~4nmの最小チップ曲率直径の垂直整列及び無損傷CNNCアレイを作製できた。Copyright 2013 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *ナノ構造 ,  *アレイ ,  *炭素化合物 ,  *窒化物 ,  *分子配向 ,  ニッケル ,  被覆 ,  プラズマCVD ,  グロー放電 ,  *薄膜成長 ,  アノード ,  基板 ,  微細構造 ,  曲率
準シソーラス用語： *ナノコーン ,  *窒化炭素 ,  *垂直整列 ,  シリコンウエハ ,  距離依存性

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  無機化合物の結晶構造一般  (BK07001T)

タイトルに関連する用語 (6件)： 垂直整列 ,  窒化炭素 ,  ナノコーン ,  アレイ ,  成長 ,  実験条件