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J-GLOBAL ID:201302282998366232   整理番号:13A0864964

グラフェンベース型ホットエレクトロントランジスタ

A Graphene-Based Hot Electron Transistor
著者 (10件):
資料名:
巻: 13  号:ページ: 1435-1439  発行年: 2013年04月 
JST資料番号: W1332A  ISSN: 1530-6984  CODEN: NALEFD  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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シリコン基板にn-型シリコンエミッタおよびSiO2シャロートレンチアイソレーション(STI)をパターン形成し,表面熱酸化してSiO2エミッタ-ベース絶縁体を生成させ,その上にグラフェンを載せてベース電極とし,Al2O3ベース-コレクタ絶縁体および金属コレクタを積層して6種類の異なるグラフェンベース型ホットエレクトロントランジスタを作製した。シリコンテクノロジーと良好に適合するこの方法で104を超えるオン/オフ電流比のトランジスタ特性を得ることができた。
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分類 (3件):
分類
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固-固界面  ,  無機化合物一般及び元素  ,  トランジスタ 
タイトルに関連する用語 (2件):
タイトルに関連する用語
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