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J-GLOBAL ID：201302284056996926   整理番号：13A0861572

高品質及び高効率半導体デバイス製造のための検査-解析解決策

Inspection-analysis Solutions for High-quality and High-efficiency Semiconductor Device Manufacturing

著者 (4件)： WATANABE Kenji (Hitachi, Ltd.) ,  WATANABE Kenji (Hitachi High-Technol. Corp.) ,  SUGIMOTO Aritoshi (Hitachi, Ltd.) ,  NOZOE Mari (Hitachi, Ltd.)
資料名： Hitachi Review (Web)  (Hitachi Review (Web))
巻： 52  号： 3  ページ： 125-132 (WEB ONLY)  発行年： 2003年10月 
JST資料番号： U0334A  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 90nmノード半導体製品の大量生産は2003年に始まり,その時には次世代65nm技術ノードの製品に関する研究はかなり前進していた。パターンサイズがディープサブミクロンの範囲に減少するに連れて,品質と最新式生産を維持するために,一連の解析ツールを開発することが重要性を増している。その解析ツールは,全システムとして緊密に集積していて以下のものを含むことを特徴とする。すなわち,(1)CD-SEM(臨界寸法走査電子顕微鏡)そして他の計測ツール,(2)欠陥検査ツール,(3)データ収集及び解析システム,(4)SEM及びTEM(透過型電子顕微鏡)解析ツール及び他の解析ツールである。日立グループは,現在及び将来の技術ノードのための前縁,すなわち,高性能計測,検査,及び解析ツールのラインナップで知られているが,さらに,個々のデバイスメーカーの多種多様の需要に適合させる検査及び解析ツールを供給するために前進する。

シソーラス用語： *半導体素子 ,  *解析 ,  大量生産 ,  *欠陥検査 ,  データ収集 ,  走査電子顕微鏡 ,  透過型電子顕微鏡
準シソーラス用語： 半導体デバイス

分類 (2件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 高品質 ,  高効率 ,  半導体デバイス製造 ,  検査 ,  解析 ,  解決策