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J-GLOBAL ID：201302284496413639   整理番号：13A1476551

ポリシリコンの調製技術における研究進展

Research Progress in Preparation Technology of Polysilicon

著者 (4件)： Zhang Pan (Coll. of Electromechanical Engineering, Qingdao Univ. of Sci. and Technol., Qingdao) ,  Chen Guanghui (Coll. of Chemical Engineering, Qingdao Univ. of Sci. and Technol., Qingdao) ,  Li Jianlong (Coll. of Chemical Engineering, Qingdao Univ. of Sci. and Technol., Qingdao) ,  Jiang Huiqiong (Qingdao Boiler and Pressure Vessel Supervisory Inst., Qingdao)
資料名： Cailiao Daobao  (Cailiao Daobao)
巻： 26  号： 11A  ページ： 153-158  発行年： 2012年 
JST資料番号： C2126A  ISSN： 1005-023X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 国際的と国内的ポリシリコンの開発と動向について調査した。またポリシリコンの調製に関する種々の方法の利点と欠点について紹介して比較した。この基本理論(化学的蒸気蒸着の反応機構)について提示した。最後に,ポリシリコンの流動化化学的蒸気蒸着の理論,開発および問題点についてレビューした。この結果は流動層化学蒸着(FBCVD)方法が従来のものに対する最も有望な代替策であることを示した。CVD工程を説明するためのモデルは改良する必要があった。特にFBCVDに関して,モーメント,熱および質量輸送の結合モデルを必要とした。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST

シソーラス用語： *ポリシリコン ,  化学蒸着 ,  流動層 ,  モーメント ,  物質移動 ,  熱
準シソーラス用語： 質量輸送

分類 (1件)： 化学工業一般  (YA01010Q)

タイトルに関連する用語 (4件)： ポリシリコン ,  調製 ,  研究 ,  進展