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J-GLOBAL ID：201302285053849597   整理番号：13A1035296

大気および液体環境中の金属上にフェムト秒レーザで誘起された周期構造

Periodical structures induced by femtosecond laser on metals in air and liquid environments

著者 (6件)： ALBU Catalina (National Inst. for Laser, Plasma and Radiation Physics, Laser Dep., Atomistilor Str. 409, P.O. Box MG-36, 077125 ...) ,  DINESCU Adrian (National Inst. for Res. and Dev. in Microtechnology, Erou Iancu Nicolae Str. 126A, 077190 Bucharest, ROM) ,  FILIPESCU Mihaela (National Inst. for Laser, Plasma and Radiation Physics, Laser Dep., Atomistilor Str. 409, P.O. Box MG-36, 077125 ...) ,  ULMEANU Magdalena (National Inst. for Laser, Plasma and Radiation Physics, Laser Dep., Atomistilor Str. 409, P.O. Box MG-36, 077125 ...) ,  ZAMFIRESCU Marian (National Inst. for Laser, Plasma and Radiation Physics, Laser Dep., Atomistilor Str. 409, P.O. Box MG-36, 077125 ...) ,  ZAMFIRESCU Marian (National Inst. for Res. and Dev. in Microtechnology, Erou Iancu Nicolae Str. 126A, 077190 Bucharest, ROM)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 278  ページ： 347-351  発行年： 2013年08月01日 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 大気および液体環境中で,基本波(775nm)およびその2倍の周波数(387nm)で作動するフェムト秒レーザパルスにより,金属膜(Cr,Ti,W)上にリップルあるいはレーザ誘起周期表面構造(LIPSS)を得た。金属試料は,大気中および水,エタノールあるいはクロロホルム中において,垂直入射で照射した。材料表面へのレーザ照射後,材料,環境,およびレーザ照射パラメータに依存して,種々の形態が観測された。用いたすべての環境において,どちらの照射波長でも,リップルあるいはナノ構造の領域を観測した。形成された構造の形態は,原子間力顕微鏡および走査電子顕微鏡で調べた。画像分析により,2種のリップルが明らかになった。周期350~600nmの低空間周波数LIPSSおよび周期約50~200nmの高空間周波数LIPSSである。液体中で形成された構造の周期は一般に,大気中で形成されたものより数倍小さかった。大気中でレーザ波長387nmで処理された試料の周期は,液体中で775nmで処理されたものに近かった。リップル構造の形成機構を考察した。Copyright 2013 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *レーザアブレーション ,  *周期構造 ,  *大気中 ,  *液体 ,  表面構造 ,  パルスレーザ ,  *金属 ,  ナノ構造 ,  原子間力顕微鏡 ,  走査電子顕微鏡 ,  顕微鏡観察 ,  *空間周波数 ,  クロム ,  チタン ,  タングステン ,  水 ,  ナノメータ加工 ,  脂肪族アルコール ,  脂肪族塩素化合物 ,  トリハロメタン ,  フェムト秒レーザ

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  レーザ照射・損傷  (BK16040S)

物質索引 (2件)： エタノール ,  クロロホルム

タイトルに関連する用語 (5件)： 大気 ,  環境 ,  フェムト秒レーザ ,  誘起 ,  周期構造