文献

J-GLOBAL ID：201302285122898821   整理番号：13A0238862

進化する超音波洗浄機 次世代超音波洗浄機「QUAVA Spot」=枚葉式洗浄に最適な超音波洗浄機=

著者 (1件)： 今関康博 (カイジョー)
資料名： 超音波Techno  (超音波テクノ)
巻： 25  号： 1  ページ： 47-49  発行年： 2013年02月01日 
JST資料番号： L2344A  ISSN： 0916-2410  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体洗浄では,ダメージ軽減のため一枚ずつ処理する枚葉洗浄への切り替えが進んできた。この枚葉洗浄に最適な超音波発振器として開発した「QUAVA Spot」を紹介する。液温,液種などの周囲環境の影響を受けやすいスポットシャワーでも,安定した超音波を供給できるように制御ユニットを改良した。また,消耗品である超音波振動子の交換を容易化する「マッチングボックス」ユニットを採用している。振動子は,「スポットシャワー」「Wスポットシャワー」「メガチューブ」の3種類に対応している。振動子の基本仕様についてまとめた。

シソーラス用語： 超音波洗浄 ,  *洗浄装置 ,  半導体プロセス ,  ウエハ【IC】
準シソーラス用語： 次世代 ,  *超音波洗浄装置 ,  *枚葉式

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  その他の音響応用  (BB03100I)

タイトルに関連する用語 (6件)： 進化 ,  超音波洗浄機 ,  次世代 ,  SPOT ,  枚葉式 ,  洗浄