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J-GLOBAL ID：201302285376704903   整理番号：13A1698800

Ti,TiO_xおよびZnO接着層上の金薄膜層の安定性と脱ぬれの動特性

Stability and dewetting kinetics of thin gold films on Ti, TiO _x and ZnO adhesion layers

著者 (7件)： SCHAEFER Brian T. (Dep. of Materials Sci. and Engineering, Univ. of Florida, Gainesville, FL 32611, USA) ,  SCHAEFER Brian T. (School of Materials Sci. and Engineering, Univ. of New South Wales, Sydney 2052, NSW, AUS) ,  CHEUNG Jeffrey (School of Materials Sci. and Engineering, Univ. of New South Wales, Sydney 2052, NSW, AUS) ,  IHLEFELD Jon F. (Electronic, Optic, and Nano Materials Dep., Sandia National Laboratories, Albuquerque, NM 87185, USA) ,  JONES Jacob L. (Dep. of Materials Sci. and Engineering, Univ. of Florida, Gainesville, FL 32611, USA) ,  JONES Jacob L. (School of Materials Sci. and Engineering, Univ. of New South Wales, Sydney 2052, NSW, AUS) ,  NAGARAJAN Valanoor (School of Materials Sci. and Engineering, Univ. of New South Wales, Sydney 2052, NSW, AUS)
資料名： Acta Materialia  (Acta Materialia)
巻： 61  号： 20  ページ： 7841-7848  発行年： 2013年12月 
JST資料番号： A0316A  ISSN： 1359-6454  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 40nmTi,TiO_xと(001)Si上のZnO接着層に成長した厚さ40nmの金薄膜の熱安定性について,その場高温共焦点レーザ顕微鏡の研究を示した。幅広い設定温度(400~800°C)とランプ速度(10~50°Cmin^-1)にわたり各金/接着層組合せについて,脱ぬれプロセスのその場観察を行った。著しい脱ぬれと金の島のその後の形成が,すべての接着層について約700°Cのみとそれ以上で生じた。ex situX線回折と走査電顕特性評価で確認されるように,金/Tiと金/TiO_xと比べ,金/ZnOの場合,脱ぬれが平衡となる。拡張指数関数動力学モデルによるその場データの定量化は,脱ぬれプロセスの基礎をなす見掛け活性化エネルギーを明らかにした。脱ぬれのこのエネルギー障壁は金/ZnOに比べ金/Tiと金/TiO_xではより高く,したがってex situ観察を確認した。これらの見掛け活性化エネルギーが,各金/接着層系の基礎をなす熱安定性に対応することが納得された。Copyright 2013 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *金属薄膜 ,  *金 ,  *熱安定性 ,  界面張力 ,  濡れ ,  *動特性 ,  *共焦点レーザ顕微鏡 ,  基板 ,  チタン ,  酸化チタン ,  ケイ素 ,  *層 ,  接着 ,  *物理蒸着 ,  焼なまし ,  島状構造 ,  指数関数 ,  力学モデル ,  *動力学 ,  *活性化エネルギー ,  その場観察 ,  加熱速度
準シソーラス用語： PVD ,  アニール ,  ランプ速度 ,  拡張指数関数 ,  金薄膜 ,  見掛活性化エネルギー ,  *接着層 ,  *脱濡れ ,  動力学モデル

分類 (3件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  その他の物理的・機械的性質  (WB02040F) ,  固-固界面  (CB12060M)

タイトルに関連する用語 (8件)： Ti ,  TiOx ,  ZnO ,  接着層 ,  金薄膜 ,  安定性 ,  脱ぬれ ,  動特性