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J-GLOBAL ID:201302285452421002   整理番号:13A0695909

光ファイバー端面へのAFMスクラッチ加工による加工特性の評価

Characterization of Atomic Force Machining on Optical-fiber End Plane
著者 (2件):
資料名:
号: 60  ページ: 29-34  発行年: 2013年03月13日 
JST資料番号: G0641A  ISSN: 0385-7026  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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通常の研磨に代えて原子間力顕微鏡(AFM)を用いたスクラッチ加工による光ファイバ端面への加工ダメージを評価した。AFMスクラッチの利点は形状のよくわかった切れ刃を用いることと加工荷重,軌跡も精密に決定できることである。筆者らは,ダイヤモンド触針の先端曲率半径の変化に対して反射減衰量がどのように変化するか測定した。この測定から加工変質層を見積もった。また,触針の材質を変化させて研磨における化学的作用も検討した。
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