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J-GLOBAL ID:201302285754148615   整理番号:13A0486576

フレキシブルシステムの高速なロールツーロールナノマニュファクチュアリング

High-rate, Roll-to-Roll Nanomanufacturing of Flexible Systems
著者 (2件):
資料名:
巻: 8466  ページ: 846602.1-846602.7  発行年: 2012年 
JST資料番号: D0943A  ISSN: 0277-786X  CODEN: PSISDG  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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ナノテクノロジーは約1~100nm規模の操作と制御による材料やデバイスの製造技術であり,これに関連する新しい研究分野と応用面は広がりつつある。連続ロールツーロール製造の良く知られた例は新聞紙や布に見られるがナノテクノロジーへの適用は一つの重要な課題である。製造品質と一貫性を保つためにCeMS(サイバー化製造システム)アプローチを提案する。CeMSはCPS(サイバーフィジカルシステム)の概念を適用したものである。CPSは計算機と通信の能力を物理的世界のエンティティの監視と制御に結合するものである。
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分類 (1件):
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固体デバイス製造技術一般 
タイトルに関連する用語 (1件):
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