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J-GLOBAL ID：201302286411562986   整理番号：13A1060520

浮上運動ステージのための6軸位置測定システム

Six-axis position measurement system for levitated motion stages

著者 (3件)： LU Xiaodong ,  RAO Niankun ,  USMAN Irfan-ur-rab
資料名： CIRP Annals. Manufacturing Technology  (CIRP Annals. Manufacturing Technology)
巻： 62  号： 1  ページ： 507-510  発行年： 2013年 
JST資料番号： E0026A  ISSN： 0007-8506  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 従来の多軸運動測定は,シリアルまたはパラレル・キネマティックチェーンを介して単軸位置センサを使って達成される。そこで,熱的,機械的負荷に起因する軸受誤差運動と構造変形の影響を受けやすい。この論文は,直接6自由度で2つの剛体間の相対位置を測定することができる立体カメラの位置測定システムを提示する。磁気浮上運動ステージの実験から,サブミクロンの分解能,16μmの不確かさ,400mm×400mm×15mmの測定体積で8000Hzの抽出率を実証した。Copyright 2013 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *キャリブレーション ,  *位置測定 ,  組合せ ,  *剛体 ,  位置 ,  カメラ ,  *磁気浮上
準シソーラス用語： 相対位置 ,  連鎖【機械】

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (4件)： 浮上 ,  運動 ,  ステージ ,  位置測定システム