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J-GLOBAL ID:201302286452586016   整理番号:13A1141670

シリコン機械加工マイクロジャイロスコープの閉ループ駆動法に関する研究

Research on the Closed-Loop Driving Method of the Silicon Micro-Machined Gyroscope
著者 (5件):
資料名:
巻: 25  号:ページ: 624-627  発行年: 2012年 
JST資料番号: C2450A  ISSN: 1004-1699  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 中国 (CHN)  言語: 中国語 (ZH)
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新しい温度補償スキームを,シリコン機械加工マイクロジャイロスコープのバイアスに大きな影響がある,環境温度の影響を減少するために研究する。駆動周波数の温度特性に関する研究によって,駆動周波数と温度の間の完全な直線関係を見出す。その結果,あるキャリブレーションをして,駆動周波数をジャイロスコープチップの内部の温度のゲージとして使用でき,不正確とヒステリシスが従来の温度トランスデューサの不正確さとヒステリシス品質を解決できる。駆動周波数とバイアスの間のモデルを確立して,シリコン機械加工マイクロジャイロスコープのバイアスに関する温度補償の検証をする。その実験は,バイアス温度感度が,-40°Cから60°Cの間で,0.053°/(s°C)から0.00244°(s°C)に前進することを示し,全温度範囲におけるバイアス温度係数を改善する。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST
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分類 (1件):
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計算機シミュレーション 
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