文献

J-GLOBAL ID：201302286486952054   整理番号：13A1756346

「画像技術の実利用」干渉色画像解析による透明膜の広視野膜厚分布測定装置の開発

Wide-view Transparent Film Thickness Measurement System by Interference Color Analysis

著者 (2件)： 北川克一 (東レエンジニアリング) ,  大槻真左文 (東レエンジニアリング)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 79  号： 11  ページ： 1078-1082  発行年： 2013年11月05日 
JST資料番号： F0268C  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 代表的な透明膜の膜厚測定法として,分光法とエリプソメトリがあるが,これらの方法は基本的に点計測であり,膜厚分布を求めるには多大な時間を必要とし,測定スポットのサイズの制約から,水平分解能にも限界がある。本報では,産業界でニーズの高い広視野膜厚分布測定装置の開発と実試料による実験結果を示した。これにより得た主な知見を次に示した。1)新しい原理の膜厚分布測定アルゴリズム(GMFT法)を使用し,広視野膜厚分布測定装置を開発したこと,白色光源,3波長帯域フィルタ,カラーカメラにより薄膜干渉色画像を撮像し,その複数点の輝度値に干渉信号モデルを最小二乗適合して,膜厚とモデルパラメータを一括して求めること,2)膜厚標準ウエーハを使用して装置性能を評価し,約120×100mmの視野全面の膜厚をサブナノメートルの再現性で測定可能なこと,3)ニュートン・リングの間隙測定とシャボン膜の膜厚測定に成功したこと,4)本装置には,光学系が単純であり,装置校正が不要で,640×480点の膜厚を約200msで高速に測定できること。

シソーラス用語： 厚み測定 ,  膜厚 ,  *薄膜 ,  光干渉 ,  *画像分析 ,  気泡 ,  液膜 ,  石鹸 ,  *計測システム ,  近似法 ,  曲線あてはめ ,  干渉縞 ,  *視野
準シソーラス用語： Newtonリング ,  シャボン玉 ,  モデルあてはめ ,  *干渉色 ,  *広視野 ,  色彩分析 ,  *膜厚測定 ,  *膜厚分布

分類 (3件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  干渉測定と干渉計  (BD07070G) ,  図形・画像処理一般  (JE04010I)

引用文献 (23件)：

• 1) T. S. Hyvarinen, E. Herrala, and A. Dall'Ava : Direct sight imaging spectrograph : a unique add-on component brings spectral imaging to industrial applications, Proc. SPIE, 3302 (1998) 165.
• 2) M. Ohlidal, V. Cudek, I. Ohlidal, and P. Klapetek : Optical characterization of non-uniform thin films using imaging spectrophotometry, Proc. SPIE, 5963 (2005) 596329.
• 3) G. Jin, R. Jansson, and H. Arwin : Imaging ellipsometry revisited : developments for visualization of thin transparent layers on silicon substrates, Rev. Sci. Instr., 67 (1996) 2930.
• 4) T. Sato et al. : Compact ellipsometer employing a static polarimeter module with arrayed polarizer and wave-plate elements, Appl. Opt., 46 (2007) 4963.
• 5) S. Parthasarathy, D. Wolfe, E. Hu, S. Hackwood, and G. Beni : A color vision system for film thickness determination, Proc. IEEE Conf. Robotics and Automation, 4 (1987) 515.

タイトルに関連する用語 (7件)： 干渉色 ,  画像解析 ,  透明膜 ,  広視野 ,  膜厚分布 ,  測定装置 ,  開発