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J-GLOBAL ID：201302286542287379   整理番号：13A1504527

チタン含有ダイヤモンド状炭素膜への超熱原子状酸素ビーム照射効果に関するNEXAFS研究

NEXAFS Study on Hyperthermal Atomic Oxygen Beam Irradiation Effect on the Ti-containing DLC Film

著者 (8件)： KANDA Kazuhiro (Univ. Hyogo, JPN) ,  KIDENA Kengo (Univ. Hyogo, JPN) ,  FUKUDA Kazuhiro (Univ. Hyogo, JPN) ,  IMAI Ryo (Univ. Hyogo, JPN) ,  NIIBE Masahito (Univ. Hyogo, JPN) ,  FUJIMOTO Synya (Kobe Univ., JPN) ,  YOKOTA Kumiko (Kobe Univ., JPN) ,  TAGAWA Masahito (Kobe Univ., JPN)
資料名： LASTI Annual Report  (LASTI Annual Report)
巻： 14  ページ： 33-34  発行年： 2013年10月 
JST資料番号： L4711A  ISSN： 2189-6909  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Tiドープのダイヤモンド状炭素(Ti-DLC)膜を超熱原子酸素ビームに晒したとの表面構造変化をシンクロトロン放射を用いたX線近吸収端微細構造(NEXAFS)分光により調べた。チタンドーピング前後の炭素のKエッジNEXAFSおよびチタンのLエッジNEXAFスペクトル形状の変化から,原子状酸素照射による表面構造変化をTi-DLCからの炭素原子のCOおよびあるいはCO₂としての脱着に帰着した。

シソーラス用語： *ダイヤモンド状炭素 ,  *イオン照射 ,  XANES ,  チタン ,  ドーピング ,  *表面構造 ,  *DLC膜
準シソーラス用語： X線吸収端微細構造 ,  NEXAFS

分類 (2件)： 半導体の放射線による構造と物性の変化  (BK16123E) ,  X線スペクトル一般  (BM08101P)

タイトルに関連する用語 (7件)： チタン ,  ダイヤモンド状炭素 ,  原子状酸素 ,  ビーム ,  照射効果 ,  NEXAFS ,  研究