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J-GLOBAL ID：201302286952532176   整理番号：13A0975919

分子薄膜の実時間可視化を行う偏光解析コントラストを使った2ステージ顕微鏡の理論・実験研究

Theoretical and experimental study on two-stage-imaging microscopy using ellipsometric contrast for real-time visualization of molecularly thin films

著者 (5件)： KAJIHARA Y. (Dep. of Micro/Nano System Engineering, Nagoya Univ., Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya 464-8603, JPN) ,  FUKUZAWA K. (Dep. of Micro/Nano System Engineering, Nagoya Univ., Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya 464-8603, JPN) ,  ITOH S. (Dep. of Micro/Nano System Engineering, Nagoya Univ., Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya 464-8603, JPN) ,  WATANABE R. (Dep. of Micro/Nano System Engineering, Nagoya Univ., Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya 464-8603, JPN) ,  ZHANG H. (Dep. of Complex Systems Sci., Nagoya Univ., Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya 464-8601, JPN)
資料名： Review of Scientific Instruments  (Review of Scientific Instruments)
巻： 84  号： 5  ページ： 053704-053704-9  発行年： 2013年05月 
JST資料番号： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 2ステージイメージング偏光解析コントラスト顕微鏡(TIEM)を開発して,幅広い面積の分子の薄い液膜にわたって膜厚分布を高い横方向分解能,幅広い視野,高い厚み分解能,及び高速に測定した。さらに,この偏光解析顕微鏡は他の測定装置と同時測定が実現できる。物体の画像をイメージングセンサと並列化し,イメージングセンサに入ってくる入射角を小さくするのに使う原理を紹介した。また,斜め観察が原因となった物体画像の特徴的な形状変形を論じた。TIEM用の実際の装置の性能を実験により調べた。TIEMの変調伝達関数を測定して,約1μmの横方向分解能を得た。また,形状変形は理論による結果と近似的に一致することも分った。さらに,分子薄膜では,膜厚とTIEMで測定した光強度とが線形性であることを確かめた。これによって膜厚の定量化が行える。TIEMによって,剪断下の液体潤滑剤の可視化など薄膜の実時間イメージングの新しい分野が開かれる。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： コントラスト ,  *偏光解析法 ,  *光学顕微鏡 ,  試料台 ,  液膜 ,  膜厚 ,  空間分解能
準シソーラス用語： *2ステージイメージング偏光解析コントラスト顕微鏡

分類 (2件)： 光学的測定とその装置一般  (BD07010S) ,  偏光測定と偏光計  (BD07050K)

タイトルに関連する用語 (11件)： 分子 ,  薄膜 ,  実時間 ,  可視化 ,  偏光解析 ,  コントラスト ,  ステージ ,  顕微鏡 ,  理論 ,  実験 ,  研究