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J-GLOBAL ID:201302287094062561   整理番号:13A1682593

遷移金属ジカルコゲナイド単一層をベースにしたヘテロ接合トンネル電界効果トランジスタのデバイス性能

Device Performance of Heterojunction Tunneling Field-Effect Transistors Based on Transition Metal Dichalcogenide Monolayer
著者 (3件):
資料名:
巻: 34  号: 10  ページ: 1331-1333  発行年: 2013年10月 
JST資料番号: B0344B  ISSN: 0741-3106  CODEN: EDLEDZ  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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MX2(遷移金属ジカルコゲナイド)TFETのバリスティック素子性能に関するソースチャネル界面でのII型ヘテロ接合の作用を研究した。同じION/IOFF比で,ヘテロ接合はホモジニアスデバイスと比べて,IONを大幅に増やした。性能強化はトンネリング距離が減少したためである。面内ヘテロ結合を,成長プロセスの他の段で使う異なる遷移金属の化学気相成長法で製作した。本稿でのサブ閾値スロープを60~80mV/decとしたが,これはドーピング濃度によって改良できる。単一層MX2 TFETデバイス性能改良のために,MX2材料及びヘテロ接合のバンドギャップ値の大きさを活用できる。
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分類 (1件):
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トランジスタ 
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