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J-GLOBAL ID：201302287295140609   整理番号：13A0058696

78パーマロイ材の表面に及ぼすNaCl電解酸化水の影響

著者 (4件)： 佐藤運海 (信州大 教育) ,  竹ノ内敏一 (新光電気工業) ,  川久保英樹 (信州大 教育) ,  川久保英樹 (長野県工科短大)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 79  号： 1  ページ： 61-66  発行年： 2013年01月05日 
JST資料番号： F0268C  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,化学薬液の替りに環境および人体に優しい電解水を磁気デバイスの製造工程に応用するため,78パーマロイ材の表面に及ぼすNaCl電解酸化水のエッチング作用,化学組成への影響について検討した。これにより得た主な知見を次に示した。1)NaCl電解酸化水は,同様のpH値を有するHCl溶液と比べ,78パーマロイ材の表面に対するエッチング作用が強いこと,また電解電流値が大きくなるにつれ,NaCl電解酸化水とHCl溶液とのエッチング速度での差も大きくなること,2)生成直後のNaCl電解酸化水について,浸漬処理の時間が長くなるとエッチング速度が小さくなること,浸漬処理時間が25分より長くなると,エッチング速度は60分の浸漬処理とほぼ同様なエッチング速度に収束すること,3)HCl溶液は,78パーマロイ材の構成元素であるFeに対するエッチング作用が強く,Cuに対するエッチング作用が弱いこと,NaCl電解酸化水はHCl溶液と異なり,78パーマロイ材の各構成金属元素に対して,ほぼその化学組成の成分比率でエッチングできること,4)NaCl電解酸化水は,HCl溶液と同様に78パーマロイ材の表面酸化皮膜を除去できることなど。

シソーラス用語： *水 ,  電気化学的水処理 ,  *パーマロイ ,  *塩化ナトリウム ,  *エッチング ,  酸化膜 ,  環境保全 ,  加工速度 ,  表面処理 ,  磁気ヘッド ,  磁気ディスク
準シソーラス用語： *78パーマロイ ,  エッチング速度 ,  *磁気デバイス ,  *電解酸化水

分類 (2件)： その他の表面処理  (WC08070F) ,  記憶装置  (JC04060F)

引用文献 (11件)：

• 1) 田中英明,千葉拓,吉川武尚,前田幸男:強磁界トランスファカーブによるGMR素子研磨特性の評価,砥粒加工学会誌,54, 4 (2010) 212.
• 2) 佐藤運海,竹ノ内敏一,山崎隆夫:純ニッケル材の表面に及ぼすNaCl電解酸化水のエッチング作用,精密工学会誌,76, 6 (2010) 633.
• 3) 佐藤運海,竹ノ内敏一,若林信一,佐藤元太郎:工業用純鉄材の表面に及ぼす希薄NaCl電解水の影響,精密工学会誌,75, 6 (2009) 747.
• 4) 佐藤運海,竹ノ内敏一,川久保英樹:純鉄材の表面に及ぼすNa₂SO₄電解酸化水の影響,精密工学会誌,76, 11 (2011) 1261.
• 5) 佐藤運海,竹ノ内敏一,若林信一,佐藤元太郎:無酸素銅材の表面に及ぼす希薄NaCl電解水の影響,精密工学会誌,72, 12 (2006) 1499.

タイトルに関連する用語 (3件)： パーマロイ ,  NaCl ,  電解酸化水