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J-GLOBAL ID:201302287372686946   整理番号:13A0823087

犠牲材料を用いたMID部品内面への回路形成法-銅膜への接着剤の塗布方法と二次成形樹脂との密着力に関する考察-

著者 (8件):
資料名:
巻: 2013  号: 春季(CD-ROM)  ページ: ROMBUNNO.Q39  発行年: 2013年02月27日 
JST資料番号: Y0914A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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筆者らは,溶出可能な樹脂材料をMID化,溶出されない樹脂をオーバーモールド,初めに成形した樹脂を溶出することで,部品の陰面に回路形成する工法を開発している。これまで,犠牲材であるPGAへのスパッタ蒸着により回路材料である銅膜が黒く劣化すること,また二次成形品のLCPと密着しないことが問題であった。今回,プラズマ処理の抑制と銅とLCP間の接着剤の押し流しに着目し,銅膜の劣化の解消と安定した密着力が確認できた。(著者抄録)
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分類 (1件):
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固体デバイス製造技術一般 

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