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J-GLOBAL ID：201302287407851597   整理番号：13A0622835

パルスマグネトロン放電中の励起したアルゴン及び基底状態チタン原子の時間分解波長可変ダイオードレーザ吸収分光法

Time-resolved tunable diode laser absorption spectroscopy of excited argon and ground-state titanium atoms in pulsed magnetron discharges

著者 (6件)： SUSHKOV V (Ernst-Moritz-Arndt-Univ. Greifswald, Greifswald, DEU) ,  DO H T (Ernst-Moritz-Arndt-Univ. Greifswald, Greifswald, DEU) ,  DO H T (Inst. of Physics, Vietnam Acad. of Sci. and Technol., Hanoi, VNM) ,  CADA M (Inst. of Physics, Acad. of Sci. Czech Republic, Praha, CZE) ,  HUBICKA Z (Inst. of Physics, Acad. of Sci. Czech Republic, Praha, CZE) ,  HIPPLER R (Ernst-Moritz-Arndt-Univ. Greifswald, Greifswald, DEU)
資料名： Plasma Sources Science and Technology  (Plasma Sources Science and Technology)
巻： 22  号： 1  ページ： 015002,1-10  発行年： 2013年02月 
JST資料番号： W0479A  ISSN： 0963-0252  CODEN： PSTEEU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *マグネトロンスパッタリング ,  アルゴン ,  *プラズマ分光 ,  *レーザ分光法 ,  密度 ,  チタン ,  アフターグロー ,  *可変波長レーザ ,  半導体レーザ ,  気体放電 ,  基底状態
準シソーラス用語： チタンターゲット ,  マグネトロン放電 ,  レーザ吸収分光法 ,  原子密度 ,  *大電力インパルスマグネトロンスパッタリング ,  波長可変ダイオードレーザ

分類 (1件)： プラズマ診断  (BJ02090L)

タイトルに関連する用語 (10件)： パルス ,  マグネトロン放電 ,  励起 ,  アルゴン ,  基底状態 ,  チタン ,  原子 ,  分解 ,  波長可変ダイオードレーザ ,  吸収分光法