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J-GLOBAL ID：201302287744934534   整理番号：13A1694336

マイクロ波放電において生成されるアルゴン及びアルゴン/分子ガス混合プラズマのプラズマパラメータ

Plasma parameters of argon and argon/molecular gas mixture plasmas produced in microwave discharge

著者 (3件)： DOBREA Remus-sorin ,  MIHAILA Ilarion ,  POPA Gheorghe
資料名： Materials Science & Engineering. B. Advanced Functional Solid-State Materials  (Materials Science & Engineering. B. Advanced Functional Solid-State Materials)
巻： 178  号： 19  ページ： 1311-1316  発行年： 2013年11月20日 
JST資料番号： T0553A  ISSN： 0921-5107  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 0.5Torrの全圧におけるArガス,Ar-N₂およびAr-N₂-NOガス混合物中に生成されるマイクロ波放電プラズマ(出力範囲100~500W)の電子密度及び温度に関する実験結果およびその分析を示す。三重プローブ法を,主に複合プラズマ中の電子温度を測定するための直接的かつオンタイムの方法を準備するために使用した。その結果を,基準電極を有する回路に搭載された円筒状のプローブを用いて得られたものと比較した。各プローブは,各々直径0.5mm,長さ3mmのタングステン線からできていた。プラズマが電子の唯一のMaxwellグループを含む場合は,実験誤差内で,両方のプローブシステムは同程度のプラズマパラメータの値を得る。円筒形のプローブの特性が,マイクロ波プラズマ内の熱電子の二つのグループを示しているとき,三重プローブは,常に1つのグループに関する結果を示すことができるが,その温度は,これらの二つのグループの電子密度の比に依存する。Copyright 2013 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *マイクロ波放電 ,  *アルゴン ,  *窒素 ,  *一酸化窒素 ,  *混合気体 ,  電子密度 ,  電子温度 ,  プローブ ,  *プラズマパラメータ ,  プラズマ
準シソーラス用語： マイクロ波プラズマ

分類 (1件)： 気体放電  (BJ03020T)

タイトルに関連する用語 (5件)： マイクロ波放電 ,  アルゴン ,  分子 ,  プラズマ ,  プラズマパラメータ