BARKER Paul Michael について
Lab. for Nanoscale Materials Sci., Empa, Duebendorf, CHE について
LEWIN Erik について
Lab. for Nanoscale Materials Sci., Empa, Duebendorf, Switzerland and Dep. of Chemistry, Angstroem Lab., Uppsala ... について
PATSCHEIDER Joerg について
Lab. for Nanoscale Materials Sci., Empa, Duebendorf, CHE について
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films について
固体デバイス製造技術一般 について
チタン について
堆積速度 について
高出力 について
インパルス について
マグネトロン について
スパッタ について
プロセス について