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J-GLOBAL ID：201302288117128057   整理番号：13A0014011

レーザ熱処理を用いた誘電体ミラー上の磁性ガーネット薄膜の選択的結晶化

Selective Crystallization of Magnetic Garnet Films on Bragg Mirrors by Laser Annealing

著者 (7件)： 鈴木祐太 (豊橋技術科学大学) ,  後藤太一 (豊橋技術科学大学) ,  江藤優 (豊橋技術科学大学) ,  高木宏幸 (豊橋技術科学大学) ,  PANG BOEY Lim (豊橋技術科学大学) ,  ALEXANDER V. Baryshev (豊橋技術科学大学,エレクトロニクス先端融合研究所) ,  井上光輝 (豊橋技術科学大学)
資料名： Journal of the Magnetics Society of Japan  (Journal of the Magnetics Society of Japan)
巻： 36  号： 3  ページ： 183-187 (J-STAGE)  発行年： 2012年 
JST資料番号： Z0944A  ISSN： 1882-2924  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 誘電体ミラーを構成するBi:YIGを結晶化する際の熱処理による下部のTa₂O₅層の結晶化による性能劣化を回避するためレーザ熱処理による選択的結晶化を図り有効性を確認した。構成材料のうちBi:YIGだけが光吸収する波長532nmの連続発振レーザを用いて合成石英基板上にBi:YIG薄膜を堆積した試料でレーザ熱処理条件を探査し,電気炉処理と同程度のファラデー回転角を示す条件を特定した。誘電体ミラー(BM)上のBi:YIG薄膜のレーザ熱処理を行った結果,BM中のTa₂O₅は,熱処理後も結晶化せず,Bi:YIG薄膜は電気炉熱処理を用いた時と同程度のファラデー回転角を示すことを示した。

シソーラス用語： *磁性薄膜 ,  イットリウム鉄ガーネット ,  *結晶化 ,  周期構造 ,  フォトニックバンドギャップ ,  光吸収スペクトル ,  Faraday効果 ,  連続レーザ ,  レーザ加工 ,  *熱処理
準シソーラス用語： Faraday回転 ,  磁性フォトニック結晶 ,  連続発振レーザ

分類 (1件)： 磁性材料  (NA04040H)

引用文献 (18件)：

• 1) M. Inoue, R. Fujikawa, A. V. Baryshev, A. Khanikaev, P. B.Lim, H. Uchida, O. Aktsipetrov, A. Fedyanin, T. Murzina and A. Granovsky: J. Phys. D, 39, R151 (2006).
• 2) T. Goto, H. Sato, A. Kume, H. Takagi and M. Inoue: J. Appl. Phys., 109, (2011).
• 3) W. E. Ross, D. Psaltis and R. H. Anderson: Opt. Eng., 22, 485 (1983).
• 4) A. M. Grishin and S. I. Khartsev: J. Magn. Soc. Jpn., 32, 140 (2008).
• 5) A. M. Merzlikin, A. P. Vinogradov, A. V. Dorofeenko, M. Inoue, M. Levy and A. B. Granovsky: Physica B, 394, 277 (2007).

タイトルに関連する用語 (7件)： レーザ ,  熱処理 ,  誘電体 ,  ミラー ,  磁性ガーネット ,  薄膜 ,  結晶化