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J-GLOBAL ID：201302288381450293   整理番号：13A0503199

In_2O_3:W透明導電膜の光学及び電気特性に及ぼすドーパント濃度の影響

Effects of dopant content on optical and electrical properties of In_2O_3: W transparent conductive films

著者 (6件)： Zhang Yuanpeng (School of Physics and Nuclear Energy Engineering, Beijing Univ. of Aeronautics and Astronautics, Beijing) ,  Li Yuan (School of Physics and Nuclear Energy Engineering, Beijing Univ. of Aeronautics and Astronautics, Beijing) ,  Li Chunzhi (School of Physics and Nuclear Energy Engineering, Beijing Univ. of Aeronautics and Astronautics, Beijing) ,  Wang Wenwen (School of Physics and Nuclear Energy Engineering, Beijing Univ. of Aeronautics and Astronautics, Beijing) ,  Zhang Junying (School of Physics and Nuclear Energy Engineering, Beijing Univ. of Aeronautics and Astronautics, Beijing) ,  Wang Rongming (School of Physics and Nuclear Energy Engineering, Beijing Univ. of Aeronautics and Astronautics, Beijing)
資料名： Rare Metals  (Rare Metals)
巻： 31  号： 2  ページ： 168-171  発行年： 2012年 
JST資料番号： C2573A  ISSN： 1001-0521  CODEN： RARME8  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： W濃度が異なるIn_2O_3:W薄膜を直流スパッタリング法を用いて硝子基板に堆積した。構造,表面モホロジー,光学及び電気特性を研究した。試験結果から,Wのドーピング量が増加するとキャリアー濃度とキャリア移動度の両方が増加することがわかった。2.8重量%の濃度で,1.0×10(-3)cmの最低抵抗値,43.7cm2V(-1)s(-1)の最大キャリア移動度,および1.4×10(20)cm(-3)のキャリアー濃度を得た。300nmから900nmの平均光透過率は87.6%に達した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST

シソーラス用語： 酸化インジウム ,  タングステン ,  *透明導電膜 ,  電気特性 ,  光学的性質 ,  *ドーパント ,  スパッタリング ,  形態 ,  表面構造 ,  透過率 ,  基板 ,  電気装置部品
準シソーラス用語： W ,  光学特性 ,  表面モフォロジー ,  光透過率 ,  ガラス基板

分類 (1件)： 薄膜一般  (BK14010X)

タイトルに関連する用語 (4件)： 透明導電膜 ,  光学 ,  電気特性 ,  ドーパント