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J-GLOBAL ID：201302288396443650   整理番号：13A0749848

化学溶液堆積したニオブ酸ストロンチウム薄膜の相と集合組織に及ぼす結晶化雰囲気と基板の影響

Crystallization Atmosphere and Substrate Effects on the Phase and Texture of Chemical Solution Deposited Strontium Niobate Thin Films

著者 (8件)： CAMPION Michael J. (Sandia National Lab., Albuquerque, New Mexico) ,  CAMPION Michael J. (Massachusetts Inst. of Technol., Massachusetts) ,  BROWN-SHAKLEE Harlan J. (Sandia National Lab., Albuquerque, New Mexico) ,  RODRIGUEZ Mark A. (Sandia National Lab., Albuquerque, New Mexico) ,  RICHARDSON Jacob J. (Sandia National Lab., Albuquerque, New Mexico) ,  RICHARDSON Jacob J. (Solution Deposition Systems, Inc., California) ,  CLEM Paul G. (Sandia National Lab., Albuquerque, New Mexico) ,  IHLEFELD Jon F. (Sandia National Lab., Albuquerque, New Mexico)
資料名： Journal of the American Ceramic Society  (Journal of the American Ceramic Society)
巻： 96  号： 3  ページ： 743-749  発行年： 2013年03月 
JST資料番号： C0253A  ISSN： 0002-7820  CODEN： JACTAW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ニオブ酸ストロンチウムなどの層状ペロブスカイト構造を持つ化合物は優れた熱電特性を持つ。薄膜はシリコン基板を用いた化学溶液堆積法で作製しているが,界面にSr:Nb比が1:1ではない二次相が生成すると報告されている。本研究では,酸素分圧を変化し,SrTiO₃,LaAlO₃,サファイアおよび多結晶アルミナ基板の上で成膜した。基板,結晶方位,酸素分圧および温度の変化により,Sr₂Nb₂O₇およびSrNbO_3-δ相が形成した。SrNbO_3-δ相を酸素中で加熱するとSr₂Nb₂O₇に変態するが,熱力学的に不安定な低酸素分圧下で加熱しても,Sr₂Nb₂O₇は簡単にSrNbO_3-δ相に逆変態しなかった。

シソーラス用語： ストロンチウム化合物 ,  *ニオブ酸塩 ,  バリウム化合物 ,  *薄膜成長 ,  層状化合物 ,  ペロブスカイト型結晶 ,  結晶構造 ,  *溶液成長 ,  *微細構造 ,  集合組織 ,  結晶方位 ,  相組成 ,  基板 ,  チタン酸ストロンチウム ,  アルミン酸塩 ,  ランタン化合物 ,  サファイア ,  アルミナ ,  分圧 ,  基板温度 ,  相転移 ,  X線回折分析 ,  電子顕微鏡観察
準シソーラス用語： ニオブ酸ストロンチウムバリウム ,  層状ペロブスカイト ,  化学溶液堆積法 ,  微細組織 ,  アルミン酸ランタン ,  酸素分圧 ,  走査電子顕微鏡法

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (8件)： 化学溶液堆積 ,  ニオブ酸 ,  ストロンチウム ,  薄膜 ,  相 ,  集合組織 ,  結晶化 ,  雰囲気