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J-GLOBAL ID：201302288427026564   整理番号：13A0652106

薄膜残留応力を考慮したピエゾ抵抗型MEMS加速度センサの感度特性評価

著者 (3件)： 風間敦 (日立) ,  青野宇紀 (日立) ,  岡田亮二 (日立)
資料名： 日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集
巻： 4th  ページ： 227-228  発行年： 2012年10月21日 
JST資料番号： L8358A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 有限要素法解析を用いたピエゾ抵抗型3軸加速度センサの感度特性予測において,製造プロセスで発生する薄膜残留応力を考慮することで予測精度を改善した。センサ素子は錘を支持する梁の変形量から加速度を検出する仕組みだが,高温アニールからの冷却過程で発生する絶縁膜の熱残留応力により梁に軸方向圧縮が加わり,圧縮応力を解放するためにセンサ感度が増加することを解析で検証した。上記残留応力を考慮した熱応力解析の追加により,残留応力非考慮の場合に22%誤差があったX/Z感度比の予測値を実測と一致させられることを示した。(著者抄録)

シソーラス用語： 薄膜 ,  残留応力 ,  圧電気 ,  MEMS ,  *加速度計 ,  *感度 ,  *熱応力解析 ,  座屈 ,  ケイ素 ,  酸化膜 ,  多軸

分類 (2件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 薄膜 ,  残留応力 ,  ピエゾ抵抗 ,  MEMS加速度センサ ,  感度特性 ,  評価