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J-GLOBAL ID：201302288465124600   整理番号：13A0623823

光分野での応用ロータリーピエゾモータ

著者 (2件)： 石井正博 (工苑) ,  石塚正純 (工苑)
資料名： 光アライアンス  (Optical Alliance)
巻： 24  号： 4  ページ： 60-63  発行年： 2013年04月01日 
JST資料番号： L1746A  ISSN： 0917-026X  CODEN： HARAEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ナノモーションの光学分野で使う超音波モータの駆動原理と適用例を紹介した。4つのセラミック振動子を伸縮する方向に対して市松模様に並べて1つの振動子とし,対角部を同時に電圧を加えることで振動子がよじれるように歪ませる。これを交流電界により連続的に動かすとその周波数に共振し「縦方向の歪み」と「横方向の歪み」が合成されて楕円運動となる。この振動子の先にエレメントと呼ぶ接触部を設けステージ脇に固定することにより,エレメントは指で弾くような動きでステージを駆動する。高速な応答性により手振れ防止やオートフォーカスに使える。また,高真空での使用も可能である(半導体集積回路の微細加工など)。モータドライバの種類も紹介した。

シソーラス用語： *超音波モータ ,  圧電体 ,  NMRイメージング ,  ナノメータ加工
準シソーラス用語： *ピエゾモータ

分類 (2件)： 電動機  (NB07030U) ,  その他の音響応用  (BB03100I)

タイトルに関連する用語 (3件)： 応用 ,  ロータリー ,  ピエゾモータ