抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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MOSFETがRFアナログ分野で使用されることが増えてきたが,その際重要なのは雑音特性である。本稿では,0.1μmバルクCMOS相当のNMOSトランジスタの2次元デバイスシミュレーションを行ない,熱雑音特性を調査した。基板コンタクト-チャンネル間距離を30μmまで拡大させ基板抵抗を大きくすると,等価抵抗R
nの周波数依存性にハンプが観察された。このハンプのトランジスタの幾何学的サイズ依存性,バイアス依存性,およびソース・ドレイン接合容量依存性を調査し,これらを考慮してBSIM4モデルを使用したモデリングを行なった。