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J-GLOBAL ID：201302288647848832   整理番号：13A0839583

プラズモニック共鳴リッジ開口を持つヘテロナノ構造のイメージング

Imaging heterogeneous nanostructures with a plasmonic resonant ridge aperture

著者 (5件)： LEE Taekyong (Yonsei Univ., Seoul, KOR) ,  LEE Eungman (Yonsei Univ., Seoul, KOR) ,  LEE Eungman (Samsung Electronics, Gyeonggi-do, KOR) ,  OH Seonghyeon (Yonsei Univ., Seoul, KOR) ,  HAHN Jae W (Yonsei Univ., Seoul, KOR)
資料名： Nanotechnology  (Nanotechnology)
巻： 24  号： 14  ページ： 145502,1-7  発行年： 2013年04月12日 
JST資料番号： W0108A  ISSN： 0957-4484  CODEN： NNOTER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： プラズモニック共鳴リッジ開口を使った,プラズモニック近接場走査ナノ顕微鏡(PNSN)を作製した。この開口を用いたPNSNは,試料によって散乱された光を測定する従来の近接場走査顕微鏡(NSOM)と異なり,開口から反射された光の変化を直接測定するので,ナノスケールの分解能で屈折率と吸収係数の変化検出を通じて,埋もれた物体を検出することができる。実験では,PNSNの分解能を調べるために,典型的なDRAM回路のパターンを持つSiO₂基板上の正方形ナノスケール溝アレイのイメージングを行った。その結果,PNSNの分解能は,開口によって生成される近接場スポットの約半分の大きさの約20nmになることがわかった。また,PNSNを使って,金属膜の直下にある物体を検出できることを理論的な解析により示した。

シソーラス用語： 結晶 ,  *素子構造 ,  *画像処理 ,  *ナノ構造 ,  走査型プローブ顕微鏡 ,  走査光学顕微鏡 ,  DRAM
準シソーラス用語： プラズモニック結晶 ,  *ヘテロ構造 ,  *イメージング ,  近接場走査型顕微鏡

分類 (1件)： 光学的測定とその装置一般  (BD07010S)

タイトルに関連する用語 (4件)： プラズモニック共鳴 ,  リッジ ,  ヘテロナノ構造 ,  イメージング