文献

J-GLOBAL ID：201302288669437496   整理番号：13A1095600

大気と流体中でのイメージングのための広帯域AFMプローブ

High-Bandwidth AFM Probes for Imaging in Air and Fluid

著者 (6件)： VIJAYRAGHAVAN Karthik (Stanford Univ., CA, USA) ,  GELLINEAU Antonio A. (Stanford Univ., CA, USA) ,  WANG Andrew (Stanford Univ., CA, USA) ,  BUTTE Manish J. (Stanford Univ., CA, USA) ,  MELOSH Nicholas A. (Stanford Univ., CA, USA) ,  SOLGAARD Olav (Stanford Univ., CA, USA)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 22  号： 3  ページ： 603-612  発行年： 2013年06月 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 櫛形AFMプローブは通常カンチレバーに広帯域回折格子力センサを採り入れることで,タッピングモード動作を変えることなくチップサンプル相互作用力の高周波成分直接測定で試料のナノメカニカル特性プロービングを可能にしている。有限要素解析で得られた機械的周波数応答を説明するために,カンチレバーの高次曲げモードを採り入れた解析モデルを開発した。プローブを異なるイメージング環境で使えるように,高応力ナイトライドを使っているバッチ製作に段差を導入した。この段差がプローブを様々な光学条件下で使えるようにしている。プローブが大気や流体中でも動作し,高速で変化するチップサンプル相互作用を測定できることを両条件下でのスパッター金フィルムのイメージングで示した。

シソーラス用語： *原子間力顕微鏡 ,  画像処理 ,  干渉計 ,  回折格子 ,  回折 ,  計測 ,  センサ ,  片持梁 ,  機械的性質 ,  数値解析 ,  解析モデル ,  *プローブ
準シソーラス用語： AFM【顕微鏡】 ,  イメージング ,  カンチレバー ,  ナノメカニカル特性 ,  光干渉計 ,  有限要素解析 ,  *力センサ ,  力測定

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  原子間相互作用  (BH04020U)

タイトルに関連する用語 (6件)： 大気 ,  流体 ,  イメージング ,  広帯域 ,  AFM ,  プローブ