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J-GLOBAL ID：201302288783002874   整理番号：13A1721597

熱CVD法によるMoS_xナノワイヤの作製

著者 (5件)： 橋本遊 (北大 大学院) ,  沓澤大 (北大 工) ,  柳瀬隆 (北大 大学院) ,  長浜太郎 (北大 大学院) ,  島田敏宏 (北大 大学院)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 74th  ページ： ROMBUNNO.19P-P2-8  発行年： 2013年08月31日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *熱CVD ,  *硫化モリブデン ,  *ナノワイヤ ,  *走査電子顕微鏡 ,  エネルギー分散X線分光分析
準シソーラス用語： EDS【分光分析】 ,  SEM【顕微鏡】

分類 (2件)： 顕微鏡法  (BK01040E) ,  半導体の結晶成長  (BK13040X)

タイトルに関連する用語 (3件)： 熱CVD ,  ナノワイヤ ,  作製