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J-GLOBAL ID：201302288824048213   整理番号：13A1775715

DLC薄膜作製における前駆体への光照射効果

著者 (4件)： 瀧川靖雄 (大阪電通大 大学院工学研究科) ,  瀧川靖雄 (大阪電通大 エレクトロニクス基礎研) ,  高木俊佑 (大阪電通大 大学院工学研究科) ,  草場光博 (大阪産大 大学院工学研究科)
資料名： FERI Activity Report  (FERI Activity Report)
巻： 23  ページ： 58-63  発行年： 2013年03月31日 
JST資料番号： L6016A  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 前駆体の有機ガスに純粋CH₄を使い,熱CVD法によるダイヤモンド様カーボン(DLC)の形成過程と前駆体におよぼすレーザ光照射の影響を調べる新しい方法として熱-光-分解法を提案した。これは熱分解で発生するH₂ガスを非晶質結合役に使い,生じた熱分解種が基板に堆積する前に様様な波長のレーザ光を照射して,熱効果と光エネルギー効果の相乗効果による熱分解種と光分解種のCVD反応におよぼす効果を期待するものである。各種波長のレーザ光(1064nm~337.1nm)とエキシマレーザ(126nm)を使い,CVD工程でレーザ照射を同時的に行った。堆積したDLC膜の評価では,Raman分光分析による膜内のsp³/sp²結合強度比,走査型電子顕微鏡法による堆積膜表面の粒状特性,表面段差計による膜厚と粒状特性,X線光電子分光法によるC1sスペクトル半値幅特性を観測した。sp³/sp²結合強度比の波長に依存する大きな変化,および488nm光照射に限って顕著な粒子径の増大が観測された。この顕著な波長依存照射効果の原因は現在明らかでないが,488nm光とその近傍の光エネルギーに共鳴する励起吸収過程の存在の可能性,およびこれに由来するsp³結合増大を起こす機構がDLC成長に関与していると推論する。

シソーラス用語： *ダイヤモンド状炭素 ,  *熱CVD ,  Raman分光法 ,  Ramanスペクトル ,  X線光電子分光法 ,  X線光電子スペクトル ,  可視光 ,  *粒径 ,  電子顕微鏡観察 ,  走査電子顕微鏡 ,  モルフォロジー ,  *表面構造 ,  アルカン
準シソーラス用語： 走査電子顕微鏡観察 ,  表面モルフォロジー

分類 (4件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  レーザ照射・損傷  (BK16040S) ,  固体の表面構造一般  (BK15010E) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

物質索引 (1件)： メタン

タイトルに関連する用語 (4件)： DLC薄膜 ,  作製 ,  前駆体 ,  照射効果