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J-GLOBAL ID：201302288937424262   整理番号：13A0635878

局所化真空法によるシリンダのEビーム機械工作のための高精度フィーディングユニット

Precision Feeding Unit for E-beam Machining of Cylinders with a Scheme of Localized Vacuum

著者 (3件)： KHIM Gyungho (Korea Inst. Machinery and Materials, Daejeon, KOR) ,  PARK Chun-Hong (Korea Inst. Machinery and Materials, Daejeon, KOR) ,  LEE Chang-Woo (Korea Inst. Machinery and Materials, Daejeon, KOR)
資料名： Proceedings of the International Conference on Positioning Technology  (Proceedings of the International Conference on Positioning Technology)
巻： 4th  ページ： 274-276  発行年： 2010年 
JST資料番号： W1407A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高精度フィーディングユニットにおける真空容器では,空気軸受からの空気漏れを回避するためベローズが使われる。しかし高ポンピング用ベローズのサイズは大きく,無視できない運動抵抗力となる。本論文では,シリンダのeビーム機械工作用として局所化真空法を用いた高精度フィーディングユニットにつき報告した。本フィーディングユニットは真空容器の外側に位置し,その運動は運動フィードスルーを介し真空容器内部に正確に伝達される。現在,本システムの最終設定が進行中であり,今後真空レベルおよび原理的動作試験が行われる予定である。

シソーラス用語： *局所性 ,  *電子ビーム ,  精度 ,  真空容器 ,  機械工作 ,  *運動機構 ,  シリンダ
準シソーラス用語： 局所化 ,  高精度

分類 (2件)： 切削一般  (QC02010V) ,  電子ビーム・イオンビームの応用  (BD02070X)

タイトルに関連する用語 (6件)： 局所化 ,  真空 ,  シリンダ ,  ビーム ,  機械工作 ,  フィーディング