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J-GLOBAL ID：201302289784285841   整理番号：13A1311100

高速ツールサーボダイヤモンド旋削プロセスを用いる連続回折光学素子の製造

Fabrication of continuous diffractive optical elements using a fast tool servo diamond turning process

著者 (6件)： ZHOU Jingbo (Harbin Inst. of Technol., Heilongjiang, CHN) ,  ZHOU Jingbo (Ohio State Univ., OH, USA) ,  LI Lei (Ohio State Univ., OH, USA) ,  NAPLES Neil (Ohio State Univ., OH, USA) ,  SUN Tao (Harbin Inst. of Technol., Heilongjiang, CHN) ,  YI Allen Y (Ohio State Univ., OH, USA)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 23  号： 7  ページ： 075010,1-8  発行年： 2013年07月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 2成分回折表面製造のための方法であるリソグラフィは連続回折素子(CDOE)の製造には適していない。ダイヤモンド旋削はサブミクロンの幾何学的精度およびナノメーターレベルの表面粗度をもつ光学表面を機械加工するための効率的で低コストの方法である。回転スピンドルからの角度フィードバックのない従来の旋削は回転対称表面のみしか機械加工できない。しかし,大抵のDOEの形状は回転対称ではない。これらの表面は,低速ツールサーボあるいは高速ツールサーボを必要とする。この論文では,CDOEを設計するためのアルゴリズムを導入する。移動最小二乗近似(MLS)法を回折表面の局所フィティング方程式を得るために用いる。局所フィティング方程式に基づいてダイヤモンド切削ツール形状の選定が議論され,工具ノーズの半径の補償アルゴリズムを含んでいる。

シソーラス用語： 光学素子 ,  *ダイヤモンド工具 ,  工程 ,  表面 ,  機械工作 ,  サーボ制御
準シソーラス用語： *サーボコントロール ,  *回折光学素子 ,  機械加工 ,  *光学表面 ,  *旋削プロセス

分類 (1件)： 光デバイス一般  (BD06010L)

タイトルに関連する用語 (2件)： 旋削プロセス ,  回折光学素子