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J-GLOBAL ID：201302289932030572   整理番号：13A0009161

3次元マイクロエレクトロメカニカルシステム圧電超音波変換器

Three-dimensional micro electromechanical system piezoelectric ultrasound transducer

著者 (7件)： HAJATI Arman (FUJIFILM Dimatix, Inc., Santa Clara, California 95050, USA) ,  LATEV Dimitre (FUJIFILM Dimatix, Inc., Santa Clara, California 95050, USA) ,  GARDNER Deane (FUJIFILM Dimatix, Inc., Santa Clara, California 95050, USA) ,  HAJATI Azadeh (TABA Medical Imaging Center, Mirzay-Shirazi Blvd., Shiraz 71888-34777, IRN) ,  IMAI Darren (FUJIFILM Dimatix, Inc., Santa Clara, California 95050, USA) ,  TORREY Marc (FUJIFILM Dimatix, Inc., Santa Clara, California 95050, USA) ,  SCHOEPPLER Martin (FUJIFILM Dimatix, Inc., Santa Clara, California 95050, USA)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 101  号： 25  ページ： 253101-253101-5  発行年： 2012年12月17日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ここでは,フレキシブルなアーキテクチャに配列したマイクロマシン加工したドーム形状の圧電共振器の組合せに基づいた超音波変換器法の設計と実験による音響試験データを紹介した。著者らの高性能ニオブドープチタン酸ジルコニウム酸鉛薄膜を3次元ドーム形状の構造に実現した。この構造は基本共振セルを形成する。これら基本セルを混合し,リソグラフィーによりそれらの次元数を変調して,調節可能な周波数応答を実現した。高い感度,調節可能な広帯域周波数応答,通常の集積回路と互換な低い伝送電圧,同軸ケーブルとうまく整合する低い電気インピーダンス,および水と整合する固有音響インピーダンスなどの改善された特性を実証した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *MEMS ,  *超音波変換器 ,  周波数応答 ,  集積回路 ,  同軸ケーブル ,  インピーダンス ,  音響インピーダンス ,  ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  ニオブ ,  ドーピング ,  マイクロマシニング ,  共振器 ,  広帯域 ,  柔構造 ,  リソグラフィー ,  次元
準シソーラス用語： 電気インピーダンス ,  *圧電共振器 ,  フレキシブル構造

分類 (1件)： 音響変換器,その他の機器  (BB03060N)

タイトルに関連する用語 (4件)： 3次元 ,  マイクロエレクトロメカニカルシステム ,  圧電 ,  超音波変換器