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J-GLOBAL ID：201302289985775430   整理番号：13A1894407

超音波噴霧熱分解によって成長したAlO_xを持つ(p⁺nn⁺)Si太陽電池構造中のボロンドープp⁺-Siエミッタ不動態化

Passivation of boron-doped p⁺ -Si emitters in the (p⁺nn⁺ )Si solar cell structure with AlO _x grown by ultrasonic spray pyrolysis

著者 (7件)： UNTILA G.g. (Lomonosov Moscow State Univ. Skobeltsyn Inst. of Nuclear Physics (MSU SINP), 1(2) Leninskie gory, 119234 Moscow, RUS) ,  KOST T.n. (Lomonosov Moscow State Univ. Skobeltsyn Inst. of Nuclear Physics (MSU SINP), 1(2) Leninskie gory, 119234 Moscow, RUS) ,  CHEBOTAREVA А.b. (Lomonosov Moscow State Univ. Skobeltsyn Inst. of Nuclear Physics (MSU SINP), 1(2) Leninskie gory, 119234 Moscow, RUS) ,  STEPANOV A.s. (Lomonosov Moscow State Univ. Skobeltsyn Inst. of Nuclear Physics (MSU SINP), 1(2) Leninskie gory, 119234 Moscow, RUS) ,  ZAKS M.b. (Solar Wind, Korotkaya Street 15, 350063 Krasnodar, RUS) ,  SITNIKOV А.м. (Solar Wind, Korotkaya Street 15, 350063 Krasnodar, RUS) ,  SOLODUKHA О.i. (Solar Wind, Korotkaya Street 15, 350063 Krasnodar, RUS)
資料名： Solar Energy  (Solar Energy)
巻： 98  号： Part C  ページ： 440-447  発行年： 2013年12月 
JST資料番号： E0099A  ISSN： 0038-092X  CODEN： SRENA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： AlO_x/(p⁺nn⁺)Cz-Si/IFOとITO/AlO_x/(p⁺nn⁺)Cz-Si/IFO太陽電池構造をnタイプCzochralski(Cz)シリコンウエハからp⁺-Siエミッタとn⁺-Si層夫々を作成するホウ素とリン拡散によって製作した。In₂O₃:F(IFO),AlO_xと(ITO)フィルムは475°C,330°C,375°C夫々における超音波噴霧熱分解によって成長させた。AlO_xフィルム厚みは27-108nmを変動し,メタノール中の2MH₂O溶液蒸気を含むAr+5%O₂雰囲気における330°Cのアニーリング時間-範囲0-18分,p⁺-Siエミッタのシート抵抗-範囲28-133Ω/□(沿層化学エッチングによって変化)。本研究は内部量子効率(IQE),この構造(IQEスペクトルの評価からの)の光電流J_IQE,またそれらの光起電力と疑似曲線因子をSuns-V_oc測定値から評価した。得られた結果はp⁺-Si不動態化レベルがAlO_xフィルム厚みとアニーリング結果の増大と共に増加することを示した。このエミッタの最適シート抵抗は~65Ω/□であった。最適化ITO/AlO_x/(p⁺nn⁺)Cz-Si/IFO構造の疑似効率は前面照射において20.2%であった。Copyright 2013 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 熱分解 ,  *酸化アルミニウム ,  *太陽電池 ,  ホウ素 ,  ドーピング ,  エミッタ【半導体】 ,  不動態化 ,  *製品開発 ,  *キャラクタリゼーション ,  *性能評価 ,  電極 ,  リン ,  Czochralski法 ,  ウエハ【IC】 ,  酸化インジウム ,  酸化インジウムスズ ,  膜厚 ,  量子効率 ,  光電流 ,  光起電力 ,  シート抵抗 ,  焼なまし ,  *熱処理 ,  パラメータ ,  *シリコン太陽電池 ,  ホウ素ドーピング ,  シリコンウエハ ,  *アニーリング効果 ,  超音波スプレー熱分解 ,  改変
準シソーラス用語： 超音波噴霧熱スプレー熱分解 ,  ボロン ,  ITO電極 ,  フィルム厚み ,  内部量子効率 ,  アニーリング処理 ,  曲線因子

分類 (3件)： エネルギー変換装置  (LC01020U) ,  太陽電池  (NC03084O) ,  電池一般  (YB04010O)

タイトルに関連する用語 (7件)： 超音波噴霧 ,  熱分解 ,  成長 ,  Si ,  太陽電池 ,  エミッタ ,  不動態化