応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) について
スパッタ蒸着 について
マグネトロンスパッタリング について
酸化アルミニウム について
酸化亜鉛 について
単結晶 について
半導体薄膜 について
薄膜成長 について
半導体材料 について
化合物半導体 について
焼なまし について
温度依存性 について
電子顕微鏡観察 について
RFマグネトロンスパッタリング について
半導体薄膜 について
スパッタ法 について
Al2O3 について
成長 について
ZnO について
単結晶 について
アニーリング効果 について