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J-GLOBAL ID：201302292131976130   整理番号：13A1692341

SEMを用いた格子投影技術による三次元形状計測法の開発

著者 (4件)： 中島由雅 (関西大) ,  新井泰彦 (関西大) ,  酒井克希 (関西大) ,  三木洋介 (関西大)
資料名： 日本機械学会関西支部定時総会講演会講演論文集  (日本機械学会関西支部定時総会講演会講演概要集)
巻： 88th  ページ： 7.10  発行年： 2013年03月16日 
JST資料番号： L0014A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ハイテク産業の発達に伴ない,微細構造物の高精度三次元形状計測の需要が年々高まっている。このような計測では一般に,光学的手法やSPMに基づく手法が用いられるが,それぞれ光の回折の影響で三軸方向に同一の分解能を持たない,計測に時間がかかるなどの問題を含んでいる。このような問題を解決するために,本研究では,SEM内部に見られる影の発生メカニズムを明確にし,格子状に発生させた影を用いた縞解析法による,新しい高分解能三次元形状計測法を提案する。(著者抄録)

シソーラス用語： 走査電子顕微鏡 ,  *形状測定 ,  三次元測定 ,  微細構造 ,  構造物 ,  格子 ,  画像 ,  *投影法【図法】 ,  電子ビーム ,  電子銃
準シソーラス用語： *三次元形状計測 ,  *縞投影 ,  投影画像

分類 (2件)： 電子ビーム,イオンビーム  (BD02030F) ,  図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (4件)： SEM ,  格子投影 ,  三次元形状計測 ,  開発