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J-GLOBAL ID：201302292171848054   整理番号：13A1562616

MEMS圧電ベクトルハイドロフォンの設計

Design of MEMS Piezoelectric Vector Hydrophone

著者 (4件)： LU Ning (Inst. Acoustics, Chinese Acad. Sci., Beijing, CHN) ,  LI Junhong (Inst. Acoustics, Chinese Acad. Sci., Beijing, CHN) ,  LIU Mengwei (Inst. Acoustics, Chinese Acad. Sci., Beijing, CHN) ,  WANG Chenghao (Inst. Acoustics, Chinese Acad. Sci., Beijing, CHN)
資料名： Key Engineering Materials  (Key Engineering Materials)
巻： 562/565 Pt.3  ページ： 1143-1148  発行年： 2013年 
JST資料番号： D0744C  ISSN： 1013-9826  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 圧電層にZnO薄膜を用い,ブリッジ構造をした新奇なMEMS圧電ベクトルハイドロフォンを示した。梁と中心の質量から構成され防水シェルに中に設置されている。感度と共振周波数について近似理論解析し,有限要素法によりシミュレーションした。理論解析とシミュレーションは良く一致した。感度は圧電層厚が大きくなるとともに増加し,圧電層厚がSi層厚の56%である時最大となり,さらに圧電層厚が増すと低下した。梁の長さを増し,幅を減少させると,感度を増加できる。小さなサイズのMEMS圧電ベクトルハイドロフォンは圧電抵抗のものよりも高い感度を持っていることが分かった。

シソーラス用語： *ハイドロホン ,  薄膜 ,  酸化亜鉛 ,  *MEMS ,  梁 ,  感度 ,  共振周波数 ,  膜厚 ,  長さ ,  幅 ,  構造設計 ,  圧電センサ ,  有限要素法 ,  計算機シミュレーション
準シソーラス用語： 圧電性薄膜

分類 (1件)： 音響変換器,その他の機器  (BB03060N)

タイトルに関連する用語 (5件)： MEMS ,  圧電 ,  ベクトル ,  ハイドロフォン ,  設計